Termistorji tankega filma so specializiran tip temperaturnega senzorja, ki uporabljajo tanko filmsko tehnologijo za zagotovitev natančne in zanesljive meritve temperature s. Ti termistorji delujejo na podlagi načela, da se odpornost polprevodniškega materiala spremeni s temperaturo. V nasprotju s tradicionalnimi termistorji, ki so običajno sestavljeni iz razsutih materialov, so termistorji tankih filmov izdelani iz materiala