Termistori tankih filmova specijalizirani su tip senzora za temperaturu koji koriste tehnologiju tankog filma za pružanje preciznog i pouzdanog mjerenja temperature s. Ti termistori rade na temelju načela da se otpor poluvodičkog materijala mijenja s temperaturom. Za razliku od tradicionalnih termistora, koji se obično sastoje od masovnih materijala, Termistori tankih filmova izrađeni su od materijala.