पतली फिल्म थर्मामीटर एक विशेष प्रकार का तापमान सेंसर है जो सटीक और विश्वसनीय तापमान माप प्रदान करने के लिए पतली फिल्म तकनीक का उपयोग करता है। ये थर्मामीटर इस सिद्धांत के आधार पर काम करते हैं कि अर्धचालक सामग्री का प्रतिरोध तापमान के साथ बदलता है। पारंपरिक थर्मिसोर्स के विपरीत, जिसमें आम तौर पर थोक सामग्री होती है, पतली फिल्म थर्मामीटर का निर्माण किया जाता है।