Õhukese filmi termistorid on spetsialiseeritud temperatuuriandur, mis kasutab õhukese kile tehnoloogiat pakkuda täpset ja usaldusväärset temperatuuri mõõtmist. s. Need termistorid töötavad põhimõttel, et pooljuhtmaterjali vastupidavus muutub temperatuuriga. Erinevalt traditsioonilistest termistoritest, mis koosnevad üldiselt lahtistest materjalidest, on õhukese filmi termistorid valmistatud õhukese filmi põhjalt